打破西方垄断!
俄罗斯光刻机双重大突破!
5月21日,俄罗斯官方官宣两大光刻技术重大突破,成功绕开ASML垄断技术路线,实现半导体光刻技术自主突围,打破西方长期技术封锁。
一方面,俄罗斯Progress STP-350型350nm商用光刻机正式投产,该设备依托i线紫外光源技术,适配8英寸晶圆生产,主打军工、航空航天领域应用,具备抗干扰、高稳定的特性,可全面满足本国军用芯片自主生产需求,填补国产商用光刻空白,后续计划2026年冲刺130nm制程原型机。
另一方面,俄罗斯在前沿领域实现颠覆性突破,6.7nm气体靶EUV光源技术完成实验室验证,区别于ASML传统锡靶路线,全新锂氙气体团簇靶技术效率是西方产品的3-4倍,无污染、运维成本更低,理论可支撑3nm、1.5nm极致芯片制程。
此次双线突破,让俄罗斯实现军用芯片自主可控,摆脱制裁带来的芯片困境,同时打造出全球第二条EUV技术路线,松动了ASML的独家垄断地位,为全球半导体突围提供全新技术思路。
