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在西方严厉技术封锁下,俄罗斯半导体产业迎来关键突破。 近日,由莫斯科“泽列诺格

在西方严厉技术封锁下,俄罗斯半导体产业迎来关键突破。

近日,由莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”(ZNTC)与白俄罗斯“Planar”工厂联合研制的首台国产投影光刻机 Progress STP-350 已完成国家测试并交付客户。

该设备采用 350 纳米 工艺,标志着俄罗斯初步建立了光刻机的自主制造能力。

这台被命名为 STP-350 的设备,虽然工艺水平仅相当于上世纪 90 年代末的国际标准,但对俄军工体系具有现实意义。

350nm 及以上的成熟制程芯片,恰恰是导弹控制、雷达系统、汽车电子及工业自动化中最常用的“主力军”。

在无法获得先进设备的背景下,实现这类芯片的自主可控,是保障国防安全的最低技术门槛。

与依赖进口汞灯的外国设备不同,STP-350 创新性地采用了固体激光器作为光源,具备能效高、寿命长、光谱窄的优势。

据俄媒披露,单台设备售价约 3.92 亿卢布(不含增值税),虽高于早期预估,但在制裁环境下仍被视为“为技术主权支付的合理价格”。

该设备可处理 150mm 或 200mm 晶圆,为俄本土晶圆厂提供了关键的替代方案。

Progress STP-350 被视为俄罗斯半导体“三步走”战略的第一步。

俄罗斯计划以此为基础,在 2026 年 推出 130nm 光刻机原型,并最终向 90nm 乃至更先进制程迈进。

尽管目前仍严重依赖成熟工艺,但这台机器的落地,意味着俄罗斯在极少数国家,掌握的“光刻机俱乐部”中,勉强占据了一席之地。