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荷兰光刻机巨头ASML曾表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎

荷兰光刻机巨头ASML曾表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。

美国把技术封锁越拧越紧,荷兰ASML夹在中间,也不得不承认一个现实:在当前出口管制之下,中国企业想拿到EUV光刻机,几乎已经不是买不买得起的问题,而是根本不让买的问题。可有意思的是,门越关,中国半导体产业的脚步反而越响。

ASML确实不是普通企业。它是全球最关键的光刻设备供应商之一,EUV光刻机又是先进芯片制造里最难绕开的设备。ASML公开资料显示,EUV与DUV将在未来多年并行使用,EUV系统主要服务于7纳米、5纳米、3纳米等先进节点。说白了,这台机器不是“雕萝卜花”的刀,而是在硅片上做极限微雕的“工业神笔”。

美国的算盘也不复杂:把最先进设备卡住,把关键软件、材料、零部件也一圈圈套住,让中国先进芯片制造多走弯路。2024年12月,美国商务部工业和安全局再次升级半导体出口管制,覆盖部分制造设备和相关技术,还把一批实体列入清单。管制的网越撒越密,嘴上叫“安全”,手里却是实打实的产业围堵。

荷兰方面也不断收紧。ASML此前声明说,荷兰新增出口管制聚焦先进芯片制造技术,部分先进浸没式DUV系统出口需要申请许可证。到了2026年4月,ASML一季度业绩仍然漂亮,总净销售额达到88亿欧元,全年收入预期上调到360亿至400亿欧元,但中国市场受限制的阴影并没有散去。技术封锁像一把锁,锁住的是订单,也搅乱了全球企业正常做生意的节奏。

不过,封锁也有副作用。中国半导体产业没有因为买不到EUV就“原地摆烂”,反而开始把难题拆开啃。光源、物镜、工件台、光刻胶、掩膜版、量测设备、工艺软件,每一块都像硬骨头。整机当然难,但真正难的是整条产业链都要长肌肉。

中国的优势不在于一夜之间变魔术,而在于产业链够完整,市场够大,工程师队伍够能熬。上海、北京、深圳、武汉、合肥等地都在围绕集成电路产业链布局,设备企业、材料企业、晶圆厂、封测厂形成更紧的配合。以前是“缺什么买什么”,现在越来越像“缺什么补什么”。这个转变,看起来不如一句“反超”热闹,却比热闹更有分量。

国产光刻机也要实事求是地看。公开资料中,上海微电子的部分产品已服务于成熟制程和相关制造环节,这说明国产设备不是空中楼阁,而是在真实产线里逐步站稳脚跟。但先进EUV不是喊几句口号就能拿下,里面涉及极紫外光源、超高精度反射镜、真空系统、系统控制等一串世界级难题。难就难在这里,也正因为难,突破才值钱。

有些网络说法喜欢把进展写成“明天量产、后天反超”,听着痛快,容易上头,却经不起权威公开信息核查。科技文章最怕两种毛病:一种是被别人一封锁就吓破胆,另一种是自己一激动就吹破牛皮。中国式突围更像磨刀,不像放鞭炮。声音不一定最大,但刀锋会一点点亮起来。

更关键的是,光刻机不是孤军作战。先进芯片产业还需要电子特气、光刻胶、靶材、硅片、量测检测、EDA软件和制造工艺一起配合。美国可以卡某一类设备,却很难永远卡住一个十几亿人口大市场的产业升级需求。只要需求还在,企业就会找路;只要路没断,技术就会继续往前拱。

ASML其实也有自己的难处。中国市场曾经是它的重要收入来源。2025年ASML总净销售额达到327亿欧元,研发投入为47亿欧元;公开报道显示,中国市场份额在2025年仍占重要位置,但预计2026年会因限制进一步下降。也就是说,技术封锁不是单向“打击中国”,同时也让欧洲企业损失订单、损失服务收入、损失未来市场。

这就像有人把桥拆了,以为能困住对岸,结果自己也少了一条财路。全球半导体产业本来就是分工合作的产物,美国把“小院高墙”越垒越高,看似精明,实则让产业链变得更贵、更慢、更不稳定。市场规律不是橡皮泥,不能想捏成什么形状就是什么形状。

中国要做的,恰恰不是跟着别人情绪起舞,而是把关键核心技术牢牢抓在手里。成熟制程要继续做扎实,先进制程要继续啃硬骨头,设备材料要继续补短板,应用市场要继续扩大。短期看,这条路费钱、费人、费时间;长期看,这是高端制造绕不开的成人礼。