曾经中国大陆半导体设备市场近 1/3 的份额被日本占据，如今情况反转，日系设备的热度大不如前。

近日统计数据显示，2025 年日系设备进口占比跌到 25%，2026 年一季度更是下滑至 24%。

日系设备的优势与现状

2018 年之前，美日是中国半导体设备进口的两大来源，占比不相上下。2018 年美国对华出口管制后，中国曾加大从日本等国的设备进口，2021 到 2024 年，日系设备占比接近三成。

日系设备的优势集中在成熟制程全流程，从光刻、涂胶显影到刻蚀、薄膜沉积等环节，几乎都有头部企业覆盖。比如东京电子在涂胶显影领域占全球近 90% 市场，日立高新在磁性材料刻蚀领域有专长。不过，在先进光刻机方面，日系远不如荷兰阿斯麦，且近年在华份额持续下滑，东京电子 2026 年一季度在华营收占比已降到 39%，预计全年将跌至 34%。

国产替代的具体进展

随着中国晶圆厂建设热潮（针对成熟制程），国产替代加速推进，多个环节已有明显成效。化学机械抛光替代节奏最快，2025 年华海清科占国内总份额 46%；刻蚀领域，中微、北方华创合计占比超 1/3；清洗领域，盛美上海等三家合计占近 1/3；薄膜沉积，北方华创、拓荆科技合计近 1/3。

不过量检测领域是难点，2025 年中科飞测、上海精测合计占比不到 10%，仍有较大替代空间。

产业背后的逻辑

日系设备在华份额下滑，并非刻意排斥，而是中国半导体全产业链建设的必然结果。从依赖进口到加速自研，如今国产设备的性能已能满足大部分需求，且不存在卡脖子的风险。这一变化不仅是日系设备的降温，更是美系主导的半导体生态影响力的下滑。

半导体设备的国产替代是长期过程，目前的进展已足够亮眼，未来还有更大的发展空间。

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